Gas Scrubber，特氣柜，使用Arsine（AsH3）氣體進(jìn)行LPCVD工藝的處理信息

問：我們需要為新的摻雜工藝添加一個(gè)LPCVD工具，我們需要將其接入產(chǎn)線。該過程要求使用砷化氫（AsH3），我們對(duì)此沒有很多經(jīng)驗(yàn)，但是我們知道這氣體是劇毒的。我們需要在Fab中添加一個(gè)特氣柜和一個(gè)尾氣處理設(shè)備來處理這種氣體。您對(duì)特氣柜和尾氣處理設(shè)備有什么建議？我需要做一個(gè)特別的氣瓶房來存放這些氣瓶嗎？由于其毒性，我是否需要雙套管氣體管道？感謝您的幫助。

答：謝謝你的提問。是的，砷化氫（AsH3）是用于二氧化硅加工工藝的特別危險(xiǎn)的氣體。它被歸類為高毒，易燃?xì)怏w，因此您需要適當(dāng)?shù)臍馄块g來存放它。此外，由于它是氫化物氣體，因此對(duì)對(duì)空氣的濕度也有要求。我們強(qiáng)烈建議您使用全自動(dòng)特氣柜，以確保您更換瓶子既安全又有效，可以防止面板上的水分進(jìn)入。您還需要凈化氣體凈化器，以清除凈化氣體供應(yīng)中可能存在的任何水分。最后建議管道安裝時(shí)使用雙套管管道安裝。

關(guān)于Gas Scrubber氣體廢氣處理設(shè)備，AsH3通常以小流量運(yùn)行，并且吸附式的尾氣處理設(shè)備可以成功消除AsH3氣體，因此建議使用干式吸附式尾氣處理系統(tǒng)。