在半導(dǎo)體行業(yè)中，SiNx薄膜材料常作為集成電路最后的鈍化保護(hù)層。一般通過(guò)CVD（化學(xué)氣相沉積）制成，其中一種常用氣態(tài)原材料就是硅烷（SiH4），我們今天就以硅烷（SiH4）為例，從安全使用角度來(lái)具體分析一下特氣柜的設(shè)計(jì)功能體現(xiàn)在哪些方面？有何作用？

從特氣使用的角度解釋特氣柜的功能：

硅烷（SiH4）是一種在常溫常壓下具有惡臭的無(wú)色氣體。它還是一種在室溫下能著火、在空氣或鹵素氣體中能爆炸性燃燒的劇毒性特種氣體。

1.  硅烷氣體鋼瓶安裝或更換前，沃飛WOFLY全自動(dòng)特氣柜（GC）的基本功能：自動(dòng)吹掃，能排除氣體管道中的氣體雜質(zhì)，保證氣體純度；排除氣體管道中殘余的危險(xiǎn)性氣體，保證人員安全。

2.  實(shí)驗(yàn)生產(chǎn)有時(shí)需要長(zhǎng)時(shí)間的氣體供應(yīng)，沃飛WOFLY全自動(dòng)特氣柜（GC）的基本功能：自動(dòng)切換，搭配內(nèi)部的PLC程序，可實(shí)現(xiàn)硅烷的高純度和連續(xù)穩(wěn)定供應(yīng)，保障實(shí)驗(yàn)或生產(chǎn)的正常進(jìn)行。

3.  硅烷（SiH4）與空氣會(huì)自燃，沃飛WOFLY全自動(dòng)特氣柜（GC）柜內(nèi)可配備氣體泄露偵測(cè)器、火焰探測(cè)器等，報(bào)警偵測(cè)警報(bào)功能齊全，并在柜門關(guān)閉情況下，特氣柜內(nèi)部都處于負(fù)壓狀態(tài)，可第一時(shí)間發(fā)現(xiàn)泄漏并阻止泄漏氣體擴(kuò)散，及時(shí)報(bào)警處理，避免更大事故的發(fā)生，確保了正常生產(chǎn)和員工人身安全。

最后，沃飛WOFLY全自動(dòng)特氣柜（GC）擁有SEMI S2認(rèn)證，SEMI S2（Safety Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment）是針對(duì)半導(dǎo)體制程設(shè)備供貨商所規(guī)范的基本健康和安全要求安全標(biāo)準(zhǔn)，代表了半導(dǎo)體廠家的基本安全要求。

以上，就是以硅烷為例，從CVD制程工藝用氣的安全使用角度來(lái)看特氣柜的功能設(shè)計(jì)，感謝您的閱讀，更多氣體應(yīng)用資訊，盡在沃飛！