半導體制造生產(chǎn)中會使用到多種特殊氣體，隨之產(chǎn)生的特氣尾氣需先通過尾氣處理裝置Local Scrubber做處理，再接續(xù)至廠務(wù)端做第二道處置后排出。這樣是為了避免在冗長的排氣過程中引發(fā)非預(yù)期的氣體泄漏，局部聚積或相互反應(yīng)等意外，以減少廠務(wù)端污染物處理上的負荷，達到對半導體業(yè)空氣污染管制及排放的標準，避免對環(huán)境和周邊人員造成危害。

吸附式尾氣處理裝置Local Scrubber幾乎能夠處理所有小流量的氣體（部分PFC氣體除外），同時因其無需明火、不產(chǎn)生廢水、低能耗的性能特點，是特氣尾氣處理的常用裝置。

在吸附式尾氣處理裝置 Local Scrubber 中吸附材以高孔隙率和高密度填充提升入口出口壓差，因此尾氣出口端增加變頻風機可起到以下作用：

1、提升壽命：變頻風機可增加抽氣壓力，以增加藥劑填充數(shù)量，提升使用壽命。

2、穩(wěn)定壓力：變頻風機可根據(jù)設(shè)定壓力值或廠務(wù)端氣壓自動調(diào)整風機轉(zhuǎn)速，穩(wěn)定設(shè)備內(nèi)壓力值和氣體流量，保證處理效率穩(wěn)定。

3、避免回流：制程中若含有易阻塞管道和藥劑的粉塵，PLC會依據(jù)設(shè)定壓力，自動調(diào)整風機轉(zhuǎn)速維持入口壓力值，避免廢氣回流，造成系統(tǒng)及設(shè)備損害。

以上，就是在半導體制程工藝吸附式特氣尾氣處理裝置 Local Scrubber 中變頻風機的作用，感謝您的閱讀！